HIWIN上银晶圆机器人软硬件垂直整合的优质选择

HIWIN上银晶圆机器人中的各关键零组件，如滚珠丝杠、直驱电机等，皆由HIWIN上银自行研发制造，取件直接，软硬件垂直整合，可提供高质量的上银晶圆机器人，提升您的竞争力，且可依客户生产需求提供客制化服务。

 


HIWIN晶圆机器人
关键零组件
100%上银自制
滚珠丝杆，直线导轨，轴承，DD马达/直驱马达，AC私服电机，控制器


特色

●采用HIWIN直驱马达，重复精度小于土0.1mm

●高空间使用率，回转半径小


产业应用及案例
广泛应用于

●半导体产业(晶圆、Frame)

●LED产业(蓝宝石基板、扩晶环)

●光电产业(小型面板、光伏片)
半导体产业 - 晶圆搬运
半导体产业 - 晶圆翻转搬运
LED产业 - 蓝宝石基板搬运
LED产业 - Grip Ring(扩晶环)搬运
光电产业 - 小型面板搬运