LMX2E系列直线电机特征：
 
 直线度可达10um
X轴最大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统分辨率最低可达50nm

LMX2E系列直线电机应用：

半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI检测设备
工具机